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  • 芯片制造商考虑使用超紫外线蚀刻技术

    要跟上摩尔定律预言的晶体管密度步伐，芯片制造商正面临越来越大的技术障碍。超紫外线蚀刻扫描仪使用的激光波长不到今天最先进机器的十分之一，但要确保超紫外线蚀刻机器在晶圆工厂长期可靠的运行同样是一件艰巨的工程挑战。

    2016-11-02

    芯片制造商 蚀刻技术

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