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国内集成电路ALD设备进驻上海集成电路研发中心
近日,由北方华创下属子公司北方华创微电子自主研发的国内首台12英寸原子层沉积(AtomicLayer Deposition,ALD)设备进驻上海集成电路研发中心。
物理气相沉积 研发中心
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