台积电承诺会在南科投资逾新台币6000亿元兴建3纳米新厂，而且未来五年的资本支出，将以5%-10%的幅度成长。台积电供应链推估，以台积电资本支出的规模，未来五年都会维持在百亿美元之上，估计五年将花费高达新台币1.8万亿元在设备、材料和相关无尘室和环保回收设备的投资，将吸引全球顶尖半导体设备和材料厂向台湾地区靠拢，形成一股强而有力的新聚落。

台积电张忠谋宣布退休后接受外电访问时表示，3纳米新厂投资金额将会超过200亿美元，而台积电目前一年资本支出约100亿美元，以维持与英特尔和三星电子并驾齐驱的竞争力。

台积电3纳米投资计划带动的族聚效益相当庞大，不仅奠定台湾半导体在全球重要地位，尤其是晶圆代工和后段封测持续在全球领先，相关供应链形成的产业聚落，也是台湾半导体产业仍可持续领先大陆的最佳凭藉。

配合台积电3纳米投资计划，已有多家半导体设备和材料厂，都同时宣布扩大在台投资，以利缩短交期并协助台积电降低成本。

这些厂商包括美商应材、荷商艾司摩尔（ASML）、德商默克（Merck）、美商科林研发（LamResearch）、日商艾尔斯（RSTechnologies）以及美商英特格等，都扩大在台湾布局，包括设备应用组装中心，以及技术和材料研发中心。

据估计，台积电庞大的设备和采购商机，绝大部分都会落在这些知名的国际半导体设备和材料大厂上，台商顶多在周边或耗材分到商机；部分项目是这些大厂将备品或零组件委由台湾设备商加工，但金额估计有近九成都会落在外商手中，台积电如何藉由此投资案，协助本土设备和材料厂升级，将是未来应思考的课题。