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14nm芯片技术突破 中国集电关键装备实现从无到有
集成电路芯片及其制造技术是信息时代的基石,代表着当今世界微细制造的最高水平。5月23日,科技部会同北京市和上海市人民政府组织召开了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(简称专项)成果发布会。
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