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没有EUV 半导体强国之梦就「难产」?
国际半导体制造龙头三星、台积电先后宣布将于2018年量产7纳米晶圆制造工艺。赛迪智库半导体研究所副所长林雨就此向《中国电子报》记者解释:“光刻是芯片制造技术的主要环节之一。
下一代光刻 半导体制造
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